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產(chǎn)品&服務(wù)
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產(chǎn)品性能:

◆滿足4~12吋晶圓工藝

◆通用型~1300℃/高溫型~1350℃/快速升降溫型水冷卻型

OEM組件:

◆THERMCO、ASM、TEL

◆TEMPRESS、BRUCE、KOKUSAI

◆AVIZA、CENTROTHERM


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