4008-110044
高溫擴散爐的外觀
擴散爐的四部分：
控制柜
推舟凈化臺
電阻加熱爐
氣源柜
1、控制部分：
整個控制柜分為五層，計算機控制部分分上層、中上層、中下層及下層四個獨立部分，每層控制對應層的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。
在控制柜的底層，安裝有四管控制系統(tǒng)的推舟控制裝置、保護電路及電路轉接控制板, 前蓋板上裝有三相電源指示燈及照明、凈化、抽風開關等。
2、推舟凈化部分
推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層推舟的絲杠、導軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳座，絲杠的右端安裝有驅動步進電機，導軌的兩端是限位開關。
柜子的下部裝有控制電路轉接板及凈化用風機。
電阻加熱爐部分
電阻加熱爐柜共有六層。頂層配置有水冷散熱器及排熱風扇，廢氣室頂部設有抽風口，與外接負壓抽風管道連接后，可將工藝過程殘余的廢氣帶走。
中間部分分四層放置四個爐管，每層由四個坡面支架托起并固定住爐管，其位置在安裝時已經(jīng)與推舟送片機構——絲杠、導軌副調好對中，因此切不可輕易挪動
3、氣源部分
氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的有害氣體。
柜頂設置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口，接口以下安裝有減壓閥、截止閥，用以對進氣壓力進行控制及調節(jié)。對應于氣路，各層分別裝有相應的電磁閥、氣動閥、過濾器、單向閥、質量流量控制器、及源瓶冷阱等。
柜子的底部裝有質量流量控制器電源、控制開關、保險等電路轉接板以及設備總電源進線轉接板。
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