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系統(tǒng)介紹：

◆全自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備

◆自動(dòng)上下裝卸料

◆物料無人搬運(yùn)，自動(dòng)輸送帶傳遞

◆完整的工廠MES系統(tǒng)對(duì)接，標(biāo)準(zhǔn)通信系統(tǒng)，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

系統(tǒng)應(yīng)用：

◆半導(dǎo)體4-8吋水平氧化擴(kuò)散、LPCVD的設(shè)備自動(dòng)化生產(chǎn)線

◆功能材料/磁性材料的設(shè)備自動(dòng)化生產(chǎn)線

◆太陽(yáng)能電池片設(shè)備自動(dòng)化生產(chǎn)線

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