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產(chǎn)品性能:
◆“熱解”+“分解”方式,節(jié)能、高效處理太陽能電池PECVD等設備的廢氣,將SiH4進行高溫熱解,將NH3直接進 行分解,無需氨水處理,無需燃燒。
◆處理能力,生產(chǎn)型:50SLM,生產(chǎn)型:400/600/1000/1500SLM
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