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產(chǎn)品&服務
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氨分解廢氣處理機系列

氨分解廢氣處理

產(chǎn)品性能:

◆“熱解”+“分解”方式,節(jié)能、高效處理太陽能電池PECVD等設備的廢氣,將SiH4進行高溫熱解,將NH3直接進     行分解,無需氨水處理,無需燃燒。

◆處理能力,生產(chǎn)型:50SLM,生產(chǎn)型:400/600/1000/1500SLM


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