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產(chǎn)品性能:
◆LPCVD、PECVD、刻蝕等的廢氣處理
◆采用電熱/氣燃燒方式,內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán),液體成分監(jiān)測、具有自動(dòng)補(bǔ)水補(bǔ)液
◆處理能力,科研型:100SLM,生產(chǎn)型:400/600/1000/1500SLM...
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