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等離子體廢氣處理系列

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等離子體廢氣處理系列

產(chǎn)品詳情

+ 產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品性能：

◆ LPCVD、PECVD、刻蝕等的廢氣處理

◆ 采用等離子體、電熱燃燒方式，內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán)，液體成分監(jiān)測、具有自動補水補液

◆ 處理能力，科研型：100/200SLM

◆ 生產(chǎn)型：400/600/1000/1500SLM...

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