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快速退火RTP

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產(chǎn)品詳情

+ 產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品性能：

◆熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應(yīng)加熱式

◆結(jié)構(gòu)方式：水平/垂直

◆溫度：200～1200℃/

配套工藝：

◆快速退火、合金(RTA/RTP)

◆快速氧化、氮化(RTO/RTN)

◆快速氣相沉積(RTCVD)等

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