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氧化爐,擴散爐,LPCVD設備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務
首頁 > 產(chǎn)品&服務 > 半導體工藝設備 > 精密熱處理爐

真空燒封爐

產(chǎn)品性能:

 ◆200~1350℃/1600℃,6/3點控溫

 ◆鉬(或鎢等)加熱,六面/全面加熱, 圓形+前后門加熱

 ◆快冷、真空壓力、氣氛等的多工藝控制方式

 ◆反應室容積大,高潔凈,高生產(chǎn)效率

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