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氧化爐,擴(kuò)散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁 > 產(chǎn)品&服務(wù) > 半導(dǎo)體工藝設(shè)備 > 精密熱處理爐

連續(xù)鏈帶爐

產(chǎn)品性能:

 ◆多段控溫,溫度均勻性高

 ◆氫氮氣氛保護(hù)/真空多種工藝選擇,連續(xù)式生產(chǎn),生產(chǎn)效率高

 ◆多種鏈帶板結(jié)構(gòu),多種工藝氣體可控

 ◆可配合各種機(jī)械手自動完成工藝,如盒對盒等

 ◆燒結(jié)、退火、燒封、釬焊,APCVD、常壓擴(kuò)散等等


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