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氧化爐,擴(kuò)散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁 > 產(chǎn)品&服務(wù) > 真空/氣氛爐系列 > 內(nèi)熱爐系列

真空燒結(jié)爐

產(chǎn)品性能:

◆高真空度,工藝真空優(yōu)于1.0×10-3Pa

◆快冷、高真空、氣氛等控制,滿足客戶特殊工藝要求

◆擴(kuò)散滲鏑/鋱室+預(yù)沉積(涂覆/蒸鍍)室等

◆工作溫度:500-1000℃/1500℃/2400℃,高可靠性,高重復(fù)性

◆批量生產(chǎn)型(連續(xù)3-5室滲鏑爐),100Kg/爐,300Kg/爐


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