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產(chǎn)品性能:
◆高真空度,工藝真空優(yōu)于1.0×10-3Pa
◆快冷、高真空、氣氛等控制,滿足客戶特殊工藝要求
◆擴(kuò)散滲鏑/鋱室+預(yù)沉積(涂覆/蒸鍍)室等
◆工作溫度:500-1000℃/1500℃/2400℃,高可靠性,高重復(fù)性
◆批量生產(chǎn)型(連續(xù)3-5室滲鏑爐),100Kg/爐,300Kg/爐
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