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氧化爐,擴散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁 > 產(chǎn)品&服務(wù) > 特氣&廢氣處理 > 配氣系統(tǒng)

氣瓶柜/氣瓶架

配氣及綜合控制系統(tǒng),通過計算機遠程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運行狀態(tài)及實時數(shù)據(jù),將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應(yīng)至工藝設(shè)備,確保氣路系統(tǒng)安全、高效運行。

 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、電子材料、太陽能電池行業(yè)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、仿真等領(lǐng)域。

 產(chǎn)品性能:

 ◆完善的安全警報裝置,具有氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警)、煙霧、火焰報警

 ◆控制方式:“觸摸屏+PLC”全自動控制(含手動控制)

 ◆氣路設(shè)計合理完善,工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能,并帶有氣瓶稱重功能

 產(chǎn)品分類

◆按瓶數(shù)分類:單瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)

 ◆按氣體分類:氣瓶柜(易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體,SiH4、PH3、HCL等)氣瓶架(高純、氬氣、氧氣等)


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