微信咨詢
配氣及綜合控制系統(tǒng),通過計算機遠程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運行狀態(tài)及實時數(shù)據(jù),將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應(yīng)至工藝設(shè)備,確保氣路系統(tǒng)安全、高效運行。
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、電子材料、太陽能電池行業(yè)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、仿真等領(lǐng)域。
產(chǎn)品性能:
◆完善的安全警報裝置,具有氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警)、煙霧、火焰報警
◆控制方式:“觸摸屏+PLC”全自動控制(含手動控制)
◆氣路設(shè)計合理完善,工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能,并帶有氣瓶稱重功能
產(chǎn)品分類
◆按瓶數(shù)分類:單瓶柜(架)/二瓶柜(架)/三瓶柜(架)/四瓶柜(架)
◆按氣體分類:氣瓶柜(易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體,SiH4、PH3、HCL等)氣瓶架(高純、氬氣、氧氣等)
地址:青島市城陽區(qū)瑞仁路4號
電話:4008-110044
郵箱:huaqitech@163.com
版權(quán)所有 ?2023 青島華旗科技有限公司魯ICP備18050447號-1
網(wǎng)站地圖 技術(shù)支持:華夏商務(wù)網(wǎng)