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產(chǎn)品&服務(wù)
主要產(chǎn)品有:氧化爐,擴(kuò)散爐,LPCVD,HVPE,PECVD,退火爐,特氣柜、尾氣處理等半導(dǎo)體氣體處理配套,石墨烯,真空爐,氫氣爐,熱處理爐等真空熱處理設(shè)備。
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