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氧化爐,擴(kuò)散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁(yè) > 產(chǎn)品&服務(wù) > 真空/氣氛爐系列 > 其它真空氣氛爐

產(chǎn)品性能:

◆高真空度,極限真空優(yōu)于6.0×10-4Pa

◆快冷、真空、氣氛等控制,滿足客戶特殊工藝要求

◆工作溫度:500-1000℃/1200℃,高可靠性,高重復(fù)性

◆優(yōu)化的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

◆溫度串級(jí)控制,更好的保證恒溫區(qū)的穩(wěn)定性

◆研發(fā)型/小批量生產(chǎn):10-30kg/爐

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