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首頁 > 產(chǎn)品&服務 > 特氣&廢氣處理 > 特氣柜/氣瓶架

氣瓶柜

產(chǎn)品詳情

+ 產(chǎn)品介紹

特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應配比系統(tǒng)。

配氣及綜合控制系統(tǒng)，通過計算機遠程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運行狀態(tài)及實時數(shù)據(jù)，將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應至工藝設備，確保氣路系統(tǒng)安全、高效運行。

應用于半導體行業(yè)、電子材料、太陽能電池行業(yè)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、仿真等領域。

產(chǎn)品性能：

◆完善的安全警報裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）、煙霧、火焰報警

◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）

◆氣路設計合理完善，工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能，并帶有氣瓶稱重功能

產(chǎn)品分類

◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）

◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體，SiH4、PH3、HCL等）氣瓶架（高純、氬氣、氧氣等）

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