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產(chǎn)品性能:
◆工作溫度:200~1200℃/2200℃
◆結(jié)構(gòu)方式:水平/垂直,片數(shù):1/3/6/多片(科研/生產(chǎn)型)
◆多溫區(qū),動(dòng)態(tài)高精度生長(zhǎng)條件控制
◆低壓、常壓、微正壓工藝方式,襯底片升降、旋轉(zhuǎn)(厚膜/晶體生長(zhǎng))
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