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氧化爐,擴散爐,LPCVD設備廠家LOGO

產品&服務
首頁 > 產品&服務 > 真空/氣氛爐系列 > 旋轉爐系列

滲鏑爐

設備特點: 

◆水平結構,外熱旋轉,優(yōu)化的反應室結構設計,滿足特殊工藝

◆高真空度,工藝真空優(yōu)于1.0×10-3Pa,保證材料特性

◆新型開合式加熱體,使用壽命長,恒溫區(qū)穩(wěn)定性好

◆工作溫度:500-1100℃,高可靠性,高重復性

◆快冷、真空、氣氛、壓力等控制,負壓/正壓自動控制

◆研發(fā)型:5-10kg/爐,生產型:50kg/爐,150kg/爐


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