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濕法廢氣處理機(jī)系列

濕法廢氣處理

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+ 產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品性能：

◆應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工藝）廢氣處理

◆多級(jí)噴淋，使易溶于水或配置溶液反應(yīng)生成沉積的物質(zhì)，以達(dá)到有毒腐蝕氣體的回收，達(dá)標(biāo)氣體的安全排放

◆處理能力，科研型：50SLM，生產(chǎn)型：400-1500SLM

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