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?水平HVPE設備用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長。
垂直HVPE設備用于在藍寶石、碳化硅等襯底上外延生長GaN薄膜、Ga2O3薄膜、厚膜及晶體生長，及AlN等外延生長。
主要用于2-6英吋AlN晶體生長
高溫電阻/感應加熱器，優(yōu)化熱場設計,多溫區(qū)石墨坩堝，升降，提拉，等徑控制等。
以客戶為天 以員工為地 以質量為本 以創(chuàng)新為魂 嚴愛相濟 內方外圓
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