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滿足4~12吋晶圓工藝,通用型~1300℃/高溫型~1350℃/快速升降溫型水冷卻型
高溫加熱體,快速升降溫加熱爐體
高溫加熱體,快速升降溫加熱爐體
高溫加熱體,快速升降溫加熱爐體
全系列氧化/擴散爐、LPCVD等設(shè)備的高質(zhì)量加熱爐體,滿足4"、6"、8"、12"、晶圓制造工藝,技術(shù)領(lǐng)先,專業(yè)制造,二十余年的專有技術(shù)制造的加熱爐體具有更寬的工藝溫度范圍及更高的恒溫區(qū)精度、穩(wěn)定性,以及更長的使用壽命。
全系列氧化/擴散爐、LPCVD等設(shè)備的高質(zhì)量加熱爐體,滿足4"、6"、8"、12"、晶圓制造工藝,技術(shù)領(lǐng)先,專業(yè)制造,二十余年的專有技術(shù)制造的加熱爐體具有更寬的工藝溫度范圍及更高的恒溫區(qū)精度、穩(wěn)定性,以及更長的使用壽命。
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