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采用等離子體、電熱燃燒方式,內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán),液體成分監(jiān)測、具有自動補水補液
LPCVD、PECVD、刻蝕等的廢氣處理,采用電熱/氣燃燒方式,內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán),液體成分監(jiān)測、具有自動補水補液
應用于半導體行業(yè)LED、多用于MOCVD、HVPE(GaN工藝)廢氣處理,多級噴淋,使易溶于水或配置溶液反應生成沉積的物質(zhì),以達到有毒腐蝕氣體的回收,達標氣體的安全排放
“熱解”+“分解”方式,節(jié)能、高效處理太陽能電池PECVD等設(shè)備的廢氣,將SiH4進行高溫熱解,將NH3直接進 ? ? 行分解,無需氨水處理,無需燃燒。
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