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采用等離子體、電熱燃燒方式，內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán)，液體成分監(jiān)測(cè)、具有自動(dòng)補(bǔ)水補(bǔ)液
特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)。
LPCVD、PECVD、刻蝕等的廢氣處理，采用電熱/氣燃燒方式，內(nèi)部噴淋水/配液循環(huán)，液體成分監(jiān)測(cè)、具有自動(dòng)補(bǔ)水補(bǔ)液
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工藝）廢氣處理，多級(jí)噴淋，使易溶于水或配置溶液反應(yīng)生成沉積的物質(zhì)，以達(dá)到有毒腐蝕氣體的回收，達(dá)標(biāo)氣體的安全排放
“熱解”+“分解”方式，節(jié)能、高效處理太陽(yáng)能電池PECVD等設(shè)備的廢氣，將SiH4進(jìn)行高溫?zé)峤?，將NH3直接進(jìn) ? ? 行分解，無(wú)需氨水處理，無(wú)需燃燒。
特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)。
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