欧美一级日韩国产电影_日韩欧美视频在线观看一区免费_家庭乱码伦区中文字幕在线_91日韩精品视频_啪啪你电影免费网_国产99在线

氧化爐,擴(kuò)散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁 > 產(chǎn)品&服務(wù) > 半導(dǎo)體工藝設(shè)備 > 氧化擴(kuò)散LPCVD爐

12”氧化LPCVD爐(生產(chǎn)型）

產(chǎn)品性能：

 ◆垂直結(jié)構(gòu)，高效產(chǎn)能，100～125片/批

 ◆穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性，重復(fù)性好

 ◆高精度可靠的自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)

 ◆微環(huán)境低氧控制先進(jìn)技術(shù)

 ◆硅片顆粒度控制穩(wěn)定，國際標(biāo)準(zhǔn)

 ◆全自動(dòng)流程，AGV/OTH對接

 ◆高集成度，完整的工廠MES系統(tǒng)對接

 ◆符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

 配套工藝：

 ◆氧化（干濕氧）、退火（N2,H2,快速退火）

 ◆多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2

 ◆磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG

 ◆TEOS，LTO，HTO，SIPOS...


氧化爐，LPCVD

相關(guān)新聞

精良的科研 · 設(shè)計(jì) · 制造 · 服務(wù)團(tuán)隊(duì)

以客戶為天 以員工為地 以質(zhì)量為本 以創(chuàng)新為魂 嚴(yán)愛相濟(jì) 內(nèi)方外圓

版權(quán)所有 ?2023 青島華旗科技有限公司魯ICP備18050447號-1

網(wǎng)站地圖 技術(shù)支持：華夏商務(wù)網(wǎng)

微信咨詢

電話咨詢

在線留言

在線留言

請留下聯(lián)系方式以便我們盡快解決您的問題