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產品&服務
主要用于2-6英吋AlN晶體生長
高溫電阻/感應加熱器，優(yōu)化熱場設計,多溫區(qū)石墨坩堝，升降，提拉，等徑控制等。
產品性能是熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應加熱式，水平/垂直的結構方式。
主要用于半導體功率器件、電力電子器件、精密材料、高性能新材料（如陶瓷、陶瓷金屬化等）的真空/氣氛熱處理（如燒結、封裝、退火、時效等）等工藝。
主要用于半導體功率器件、電力電子器件、精密材料、高性能新材料（如陶瓷、陶瓷金屬化等）的真空/氣氛熱處理（如燒結、封裝、退火、時效等）等工藝。
應用于太陽能電池片、半導體功率器件、電力電子器件、二極管、精密材料等的燒結、退火、燒封、釬焊等工藝。
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